科技日报记者 皆芃

　　记者17日从中核集团中国原子能科学探求院获悉，由该院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）奏效出束，中枢见地达到国际先进水平。这象征着我国已全面掌捏串列型高能氢离子注入机的全链路研发本事，攻克了功率半导体制造链中的重要尺度，为鼓舞高端制造装备自主可控、保险产业链安全奠定坚实基础。

　　离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜千里积成就并称为芯片制造“四大中枢装备”，是半导体制造不行或缺的“刚需”成就。始终以来，开云app我国高能氢离子注入机弥散依赖海外入口，其研发难度大、本事壁垒高，九游app是制约我国重要本事产业升级发展的瓶颈之一。

　　中国原子能科学探求院依托在核物理加速器界限数十年的深厚积攒，以串列加速器本事手脚中枢技巧，破解一系列繁难，弥散掌捏了串列型高能氢离子注入机从底层旨趣到整机集成的正向缱绻智商，突破了海外企业在该界限的本事闭塞和始终阁下，将有劲进步我国在功率半导体等重要界限的自主保险智商，更为助力“双碳”标的赶走、加速发展新质出产力提供强有劲本事相沿。

　　（中核集团供图）

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